測定用機器

ウエハーセンサー

デバイスメーカー、装置メーカー向けです。

ウエハー表面温度分布測定　お客様のオーダーに合わせた仕様でご対応いたします。
主に半導体製造装置関連の開発・検査工程で温度測定に使用されています。

【特徴】
ご指定のウエハーに熱電対を埋め込み、温度分布を測定することができます。
測定点数・測定温度・ウエハー形状もご希望に合わせます。
特注品の対応可能です。
SiC基盤での製作可能

項目	選択肢・仕様内容
サイズ	2〜12インチ
基盤材質	シリコン、SiC、ガラスなど
測定温度	常温〜1200℃
熱電対タイプ	Kタイプ（±0.4%）、Rタイプ（±0.1%）、他使用温度やご希望精度・環境を伺い選定します
素線径	0.10mm〜
測定点数	1〜48点（12インチ）
絶縁材	Silica, Glass, Teflon など使用温度や使用環境を伺い選定します
端末処理	各種対応可 2ピンミニチュアコネクタ、Y型端子、D-subコネクタ、セラミックコネクタ、熱電対素線のみ、など

測温抵抗体ウエハ

【特徴】
・白金測温抵抗体の採用により一桁上の精度向上
・熱電対では計測出来なかった厳しい環境下で高精度な計測が可能

項目	センサー部仕様
サイズ	12インチ、8インチ、6インチおよび異形
基盤材質	シリコン
測定温度	-195〜500℃
センサー	白金測温抵抗体（精度 ±0.1℃）
測定点数	最大73点（12インチ）最大20点（8インチ）
項目	測定器部仕様
センサー種別	白金測温抵抗体
測定点数	10点単位最大80点
使用温度範囲	-195〜500℃
分解能	0.01℃
測定精度	0℃未満 0.03%of reading+0.01℃ of F.S.0℃以上 0℃以上 0.02%of reading+0.01℃ of F.S.0℃以上 (23℃±10℃にて)
計測インターバル	高速モード・・・0.2秒、0.5秒低速モード・・・1秒から60秒
通信プロトコル	独自プロトコル
使用温度範囲	0〜70℃

【特徴】
・白金測温抵抗体搭載で高精度計測が可能
・シリコンWAFER上に直接回路実装し、ケーブルレスで温度を計測、記録・記録したデータは専用クレードルに接続し、PCからデータ抽出可能