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半導体事業

Semiconductor Equipment Division

半導体素材

ダイアモンド/ セラミック

Diamond

究極の材料と呼ばれ、優れた特性をもつダイヤモンドを、
様々なグレードにてご提案いたします。

単結晶(Single Crystal)/多結晶(Polycrystalline)基板

結晶方位やサイズ、厚み等もご指定可能です。wafer状での製作も対応しております。

・Semiconductors(半導体) ・ Heat Sink (サーマル)  ・Optical(光学)
・Mechanical   (機械) ・Boron Doped(ボロンドープ)  ・Diamond composite(ダイヤモンド複合材料)

 

セラミック

パワー半導体が様々な用途で使用される中、
放熱性能の高い素材も求められてきております。
セラミック基板素材から、回路形成した基板までの加工も対応可能です。

セラミック基板

窒化ケイ素(Si3N4)/窒化アルミニウム(AlN)/アルミナ(Al2o3)…
高熱伝導率、高平坦度、接合条件を満たす基板をご提案いたします。
特殊形状、スクライブ、穴あけ、ポリッシュ研磨等の加工対応もしております。

 

絶縁放熱回路基板

AMB法、拡散接合法にて、放熱性・接合強度の高い基板の製作対応もしております。
その他接合法にて薄銅の接合等も対応しております。