ウエハー
ウエハー
デバイスメーカー、装置メーカー向けです。
ウエハー各種
お客様の仕様用途に合わせご要望の仕様を供給いたします。
| サイズ | 2インチ,4インチ, 5インチ, 6インチ, 8インチ, 12インチ |
| 用途 | Prime（Bare､SOI､Epi､埋込層付Epi）、パーティクルモニター、成膜用、ダミー用 等 |
| 種類 | CZ(MCZ)ウェハ、 FZウェハ、Lowパーティクル、抵抗値指定、導電型指定、再生ウェハー |
| 特殊ウェハー | SOI、Epi、結晶方位、ノッチ、酸素濃度 など用途に応じて特殊スペックに対応可能 |
ウエハーTC
ウエハー表面温度分布測定 お客様のオーダーに合わせた仕様でご対応いたします。
主に半導体製造装置関連の開発・検査工程で温度測定に使用されています。
[商品明細]
ご指定のウエハーに熱電対を埋め込み、温度分布を測定することができます。
測定点数・測定温度・ウエハー形状もご希望に合わせます。
特注品の対応可能です。