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半導体事業

Semiconductor Equipment Division

半導体事業

熱電対・測温抵抗体・センサー

シース測温抵抗体

RESICERAM®素子とMIケーブル(酸化マグネシウムを充填したシースリード線)を接続し、一体構造としたシース測温抵抗体です。

【シース測温抵抗体の特徴】
1)反応速度が速い
RESICERAM®は抵抗素子と絶縁材及び金属シースが一体構造となっているため、従来の保護管形測温抵抗体に比べ速い応答性を有しています。

2)優れた曲げ特性
感温部である先端100mmを除きシース外径の2倍以上の半径で曲げることができます。

3)広い測温範囲
雰囲気にもよりますが、-200~500℃ (※1)までの測温が可能です。
※1:400℃以上で使用される場合には、ご注文の際必ずご指示ください。

シース熱電対

金属シースと熱電対素線間を高純度マグネシウム粉末で硬く充填し気密状態にした絶縁性と耐久性を持ったシース熱電対です。
適正な焼きなりましにより熱電対の状態を損うことなく曲げることができます。

【シース熱電対の特徴】
1) 反応速度が速い
THERMIC®は熱電対素線と絶縁材及び保護管が一体構造になっているため、
従来の保護管形熱電対に比べ速い応答性を有しています。

2) 優れた曲げ特性と耐衝撃性
高密度に形成されているため、機械的強度が大きく、曲げ半径が
シース径の2倍以上で曲げることができます。

3) 耐食、耐圧性が優れている
金属シースの中にマグネシウム粉末(MgO)が高密度に圧縮、充填されているので、気密性に
優れ、外部雰囲気による腐食の恐れが少なくかつ最高約50MPaの圧力に耐えます。

4) 広い測温範囲
マイナス200~1500℃(特殊THERMIC®使用)までの測温が可能です。

各種ウエハーセンサー(熱電対・測温抵抗体)承ります。
※RESICERAM、THERMICは山里産業株式会社の登録商標です。

センサー各種

熱電対Kシースタイプ、測温抵抗体シースタイプ各種揃えています。

【特長】
弊社のセンサは、柔軟性に富むので自由に曲げられます。
応答速度が速く、寿命が長く、耐熱、耐圧、耐衝撃性に優れています。

【仕様】
標準階級 : 熱電対0.75級 測温抵抗体0.5級
※ご希望によっては、熱電対0.4級、測温抵抗体0.2級も製作いたします。