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半導体事業

Semiconductor Equipment Division

ヒーター

フィルムシートヒーターFSHH型

フイルム状で様々な形状に対応できるヒーターです。耐熱350℃高温タイプです。

【特長】
発塵が無くクリーンルームでの使用にも耐えます。
厚み0.1mmと極薄のヒーターです。
真空条件下での使用可能です。
350℃の耐熱性があり、高温での加熱にも適応できます。
ご要望に併せて自由な形状を製作できます。

【共通仕様】

使用電圧 100V 200V ※特注24Vから製作可能

■構造

FSHH-P1 FSHH-P2 FSHH-P3